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羅茨水噴射真空機組是由羅茨泵(又稱機械增壓泵)為主泵(包括中間泵,該泵有防腐和不防腐兩種,防腐型在是經過噴涂處理后, 達到了很好的防腐效果),水噴射泵為前級泵組成。用全塑臥式水噴射真空機組作為前級泵,可抽腐蝕性氣體,羅茨泵極限真空可達150Pa,二級羅茨泵極限真空可達25Pa。
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