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真空抽氣機組的技能要求

  真空機組作業在10-6~10-10Pa真空壓力規模,除了要求真空室的漏氣率很小、能飽嘗200~450℃高溫烘烤外,對機組的要求還有:

 ?。?)主泵的真空要高。至少在10-7~10-8Pa以上;

 ?。?)在真空的作業壓力規模內主泵具有必定的抽速;

 ?。?)機組的主泵或主泵進氣口以上部分能承受200-450℃的高溫烘烤。

 ?。?)來自主泵的返流氣體(包含作業液蒸氣及解析的氣體)的分壓力要滿意低。

 ?。?)對被抽氣體挑選性強的主泵,要裝備滿意大的輔佐泵;

  機組主泵進氣口以上的管道、閥門等部件,資料的挑選和密封要特別穩重。一般選用較低的不銹鋼和選用金屬密封資料,以耐高溫烘烤。

小編:Qian


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