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真空泵機組濺射離子泵的類型選擇

  二級型濺射離子泵在排除氬、氪和氙等惰性氣體時,經常會出現氬壓力循環上升的現象,即真空系統內德壓力突然脈沖式的上升然后又下降,壓力變化幅度為10-2Pa數量級。這種現象稱為“氬不穩定性”.給出了二級型噴濺離子泵在空氣壓力為10-3Pa時進行數百小時或在10-4Pa時進行數千小時排氣后所出現的氬不穩定性。為克服這種現象,出現了各種改進型的濺射離子泵的幾種改進型結構:

  1)二極型泵結構簡單,磁鐵的磁隙小,只是啟動壓力低。如果不是在高壓力下啟動而且對惰性氣體抽速無特殊要求,還是選用這種泵好。

  2)如果要求啟動壓力高,可以采用三極型結構,或采用其他輔助辦法。三極型結構工藝復雜,如果是三電位,電源也復雜。磁鐵的磁隙也大了。

  3)如果為了抽除氬、氦,可以采用多孔型陰極。但在鉭板上打孔麻煩。從工藝上考慮,可以采用非對稱型陰極。要從材料上考慮可以采用二電位三極型。

  4)磁控管型和端子板型都是為了提高對氬的抽速。放電強度、濺射能力都提高了,但工藝上困難較大。

  5)幾種泵對各種氣體抽氣能力相差較大,可按具體情況選用。

  如果選定了真空泵或者真空機組的類型之后,還需要要根據系統所需的抽氣量來選用正確的型號。

小編:Qian


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